【资讯】全球最小最亮的UVC LED问世

据悉，在本世纪初，南卡罗来纳大学的研究院队就开始研发小型UV LED互联阵列。第一代UV LED像素直径为25微米，组成了10×10的阵列，提升了光输出功率，具有超高可靠性，并减少了电流拥挤，主要对标串联电阻和辅助电流扩展。

据外媒报道，美国南卡罗来纳大学（the University of South Carolina）的科学家已开发出全球最小、最亮的深紫外LED，该团队针对深紫外光源再次对这个结构进行研究，主要聚焦热阻抗以及像素尺寸对发射功率的影响。三个不同阵列的研究结果显示，得益于消除热下垂的优越排热技术，降低像素尺寸可提升性能。

为了保证整个晶圆的均匀性，研究团队优化了20微米以下光刻曝光和显影时间，同时优化了p极欧姆接触退火条件。研究团队将直径为90微米的单像素LED参照物与三个不同的阵列结构进行对比。分别是：

该芯片尺寸仅为5微米，波长为281nm。由这些芯片组成的UVC LED阵列亮度达361W·cm-2。间隙均为5微米。

相比单芯片参照物，324个直径为5微米的像素阵列在连续波模式下，输出功率提升了5倍以上，而在脉冲模式下，输出功率可提升15倍以上。

通过晶圆上测量法（采用500ns脉冲和0.05%的占空比以最大程度降低器件的热量）发现，带有铝散热片的单个5微米（直径）像素，当驱动电流为10.2kA·cm-2时，峰值亮度可达到291W·cm-2，是上述提及LED参照物亮度的30倍。